光学读出热成像焦平面阵列的制作技术

摘要：

光学读出热成像是一种新型的红外成像技术,它基于双材料效应和光学原理实现像转换与像增强,具有高性价比的潜在优势。光学读出热成像焦平面阵列由可动微镜阵列构成,其制作技术是光学读出热成像技术的重要研究内容之一。目前,国内外的研究者已发展了基于表面微机械、体微机械以及表面/体微机械工艺的3种制作技术,前两者各有优缺点,而基于表面/体硅微机械工艺的制作技术则兼顾了前两者的优点。

关键词： 光学读出热成像 红外成像 焦平面阵列 微机械工艺

作者: 冯飞 李珂 杨广立 闫许 熊斌 王跃林

作者单位: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海 200050

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年光电探测与制导技术的发展与应用研讨会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 483-486

在线出版日期: 2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）