一种新型微机械谐振器关键工艺--各向异性腐蚀的研究

摘要：

介绍了一种新型的双层谐振器，并用各向异性腐蚀剂KOH和TMAH，以及结合干法刻蚀实现了谐振器的制作，并且对两种湿法腐蚀剂KOH和TMAH的腐蚀效果作了比较.

关键词： 双层谐振器 各向异性腐蚀 干法刻蚀 腐蚀效果

作者: 赵红坡 朱长纯

作者单位: 西安交通大学电子与信息工程学院 710049

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届中国西安纳米科技研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 230-233

在线出版日期: 2003-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）