无氢非晶金刚石膜耐磨性研究

摘要：

采用滤质阴极真空电弧(FCVA)离子镀技术在高速钢(W6Mo5Cr4V2)和不锈钢(0Cr18Ni9Ti)基体上沉积120-150nm非晶金刚石膜。用划痕法测定其结合力，平均临界载荷分别为19.15N(高速钢)和6.44N(不锈铜，CB工艺)。以栓盘摩擦试验测定镀膜的摩擦系数μ和耐磨寿命。摩擦系数μ为0.092-0.105，镀膜耐磨性比高速钢高106-319倍，比不锈钢高480-3600倍，而且镀膜质量稳定，重复性好。

关键词： 非晶金刚石膜 结合力 摩擦系数 临界载荷

作者: 黎永钧 苏秉雄 李冬生

作者单位: 陕西百纳科技发展有限责任公司 710043

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届中国西安纳米科技研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 172-177

在线出版日期: 2003-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）