含Cr纳米晶增强类金刚石和类石墨碳膜的组织结构与摩擦磨损性能

摘要：

采用全封闭非平衡磁控溅射技术制备Graphit-iC和Dymon-iC薄膜。使用TEM、SEM、XRD、AFM、纳米压入、高温摩擦磨损试验机等研究了薄膜的微观结构、表面形貌、硬度及摩擦磨损性能。结果显示，两类薄膜均由大量非晶和少量纳米晶组成，薄膜均匀、致密，粗糙度小；Graphit-ic的纳米压入硬度低于Dymon-ic；同时，干摩擦条件下，两类薄膜均显示出良好的耐磨减摩性能，前者的摩擦系数较低，但其比磨损率较高。

关键词： Graphit-iC Dymon-iC Cr纳米晶 显微硬度 组织结构 摩擦系数

作者: 牛新平 王昕 马胜利 徐可为 Zhaoxiaoling D.Q.Teer

作者单位: 西安交通大学 金属材料强度国家重点实验室，陕西 西安，710049

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届中国西安纳米科技研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 167-171

在线出版日期: 2003-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）