纳米复合超硬薄膜的结构、性能表征

摘要：

分别采用直流、脉冲直流和微波等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)技术得到了Ti-Si-N、Ti-B-N及Ti-Al-Si-N纳米复合超硬薄膜，结合微观分析和宏观性能表征，给出了它们的纳米结构特征及其与力学性能的关系，基于工业运用背景，探索了纳米复合薄膜的热稳定性。

关键词： 复合超硬薄膜 纳米结构 化学气相沉积 等离子体辅助

作者: 马大衍 马胜利 徐可为 S.Veprek

作者单位: 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室，西安 710049 慕尼黑工业大学无机化学研究所，德国 慕尼黑，D-85747

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届中国西安纳米科技研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 73-83

在线出版日期: 2003-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）