一维纳米材料及其在真空微电子器件中的应用

摘要：

介绍了一维纳米材料的种类及其在扫描微探针、异质结、FED、负离子发生器、自持放电型气体传感器以及微机械执行器等方面的应用。

关键词： 一维纳米材料 真空微电子器件 负高子发生器 气体传感器

作者: 朱长纯

作者单位: 西安交通大学真空微电子与微电子机械研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届中国西安纳米科技研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 5-6

在线出版日期: 2003-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）