纳米力学测试系统的原理及其应用

摘要：

纳米压痕和纳米划痕以及原位成象技术是一项较新发展起来的材料力学性能表征技术，它在表面工程和表面改性、纳米材料和纳米器件、微力学器件(MEMS device)，半导体工业以及各种喷漆、镀层等领域正得到越来越广泛的应用。针对相关的测量原理及其应用进行了介绍。

关键词： 纳米压痕 力学测试系统 弹性模量 连续刚度测量 原位成象

作者: 谢存毅

作者单位: MTS系统(中国公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届中国西安纳米科技研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 306-313

在线出版日期: 2003-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）