冷阴极潘宁离子源的模糊神经网络束流控制系统

摘要：

设计了一种以TMS320LF2407A DSP器件为控制核心，以模糊神经网络智能控制为主要算法的智能冷阴极潘宁气体离子源束流控制系统。通过系统中嵌入的神经网络可实现对模糊控制的自适应调节，从而稳定离子源的引出束流，提高离子源的使用性能。

关键词： 潘宁离子源 冷阴极 离子束流 束流控制系统 模糊神经网络

作者: 赵玉清 时立峰 李东梅

作者单位: 西安交通大学电子与信息工程学院电子科学与技术系 西安 710049

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届中国西安纳米科技研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 293-298

在线出版日期: 2003-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）