基于Mathematica环境的硅各向异性腐蚀的计算机模拟

摘要：

随着微纳研究技术的不断深入，微电子机械系统(MEMS)也越来越趋于实用化。硅各向异性腐蚀，作为MEMS领域三维加工工艺，对其腐蚀机理和计算机模拟等方面的研究成为了微纳领域研究热点之一。利用Mathematica软件计算能力强、图形显示方便、直观，对系统环境要求较宽松等优点，在此环境下，对硅在KOH中各向异性腐蚀进行了模拟。模拟结果表明，各向异性腐蚀工艺的计算机模拟在Mathematica环境下是可行的。

关键词： 微电子机械系统 各向异性腐蚀 三维加工工艺 计算机模拟

作者: 姜岩峰 张晓波 鞠家欣 张静

作者单位: 北方工业大学信息工程学院微电子学科，北京，100041

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届中国西安纳米科技研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 285-289

在线出版日期: 2003-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）