在线化学气相沉积过程的动力学研究

摘要：

本文利用流体力学理论和扩散理论，分析了气体流速、气体运动状态、沉积装置结构、尺寸、沉积过程工艺参数等对在线化学气相沉积过程的影响，对在线化学气相沉积装置的设计以及薄膜的制备具有一定的指导意义。

关键词： 化学气相沉积 在线测量 薄膜制备 动力学 流体力学理论 扩散理论

作者: 庞世红 马眷荣 马振珠

作者单位: 中国建筑材料科学研究院总院 北京 100024

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年中国浮法玻璃及玻璃新技术发展研讨会

会议地点: 安徽蚌埠

会议语种:中文

页码: 113-115

在线出版日期: 2007-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）