微气压传感器测试系统的真空自动控制研究

摘要：

针对微热板式微气压传感器的动、静态性能测试,建立了一套保持真空度稳定的控制系统.参考MATLAB的仿真结果,分别采用模糊控制与模糊PID控制算法设计出控制器,对传感器测试系统的真空度进行了实时控制研究,探讨并分析了真空度动态平衡的控制问题.结果显示,调整系统控制量的模糊PID控制稳态误差小、鲁棒性比较好,可以有效地对测试环境进行真空度调节和设置,能够解决传感器所需气压测试环境10～1000Pa的实时气压控制问题.

关键词： 微气压传感器 真空度平衡 实时控制 模糊PID控制

作者: 金仁成 陈涛 张五金 唐祯安

作者单位: 大连理工大学,辽宁省微纳米技术及系统工程重点实验室,辽宁,大连,116023 大连理工大学,精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁,大连,116023

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 457-460

在线出版日期: 2007-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）