单片扫描QCM阵列的封装及浸液中频率稳定性
研究了一种适用于液相化学和生物量检测的单片扫描式QCM阵列传感器,研究了器件的封装及其在液相条件下的工作稳定性.采用单边封闭的封装方式,研究了器件在单边触液条件下的工作特性.阵列器件采用扫描工作方式,分时激励阵列中的各单元器件依次进入谐振工作状态,使某一时刻仅有一个单元器件处在工作状态,避免了单元器件间的振动耦舍.实验制作的单片扫描式QCM阵列传感器试验结果显示,阵列器件中各单元器件的气相平均频率稳定度达到±0.2×10-6/h,液相平均频率稳定度达到±0.4× 10-6/h.
石英微天平分析仪 QCM阵列 生物传感器 化学传感器 封装方式
石志松 朱惠忠 梁吴迪
清华大学,精密仪器系,北京,100084;清华大学,深圳研究生院,广东,深圳,518055 深圳清华大学研究院,广东,深圳,518057
国内会议
北京
中文
400-403
2007-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）