片上集成三电极体系微电极阵列的表征

摘要：

设计制作了片上集成三电极体系微电极阵列。工作电极分为圆形和方形两种,电极特征尺寸为100～900 μm,工作电极与对电极间距为50～200 μm。利用循环伏安法,在氧化还原电位探针二茂铁甲醇的作用下,对各三电极微系统进行了电极性能表征,具体分析了工作电极的形状、大小、与对电极的间距对输出特性的影响,为片上集成三电极体系的微电极阵列的设计优化提供了实际依据。

关键词： 循环伏安法 微电极阵列 优化设计 片上集成三电极体系

作者: 吕尊实 周嘉 陈华 黄宜平 鲍敏杭

作者单位: 复旦大学,专用集成电路及系统国家重点实验室,微电子学系,上海,200433

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 329-331

在线出版日期: 2007-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）