小型共面接口压差传感器

摘要：

小型共面接口压差传感器是一种压力传感器,该传感器主要用于测量和控制两个油路压力差.该产品采用SOI硅晶圆材料制作硅压阻式压力敏感芯片,敏感元件的工作温度范围为-55～300℃,通过双芯体结构将油路的压力差信号转换成电信号,再利用精密的信号处理电路,将微弱的电信号进行放大处理,实现标准的模拟信号输出.

关键词： 压力传感器 硅晶圆材料 信号处理电路 压力敏感芯片 封装技术 低漂移调制技术

作者: 金琦 李长春 杨勇 刘宏伟 孙克

作者单位: 沈阳仪表科学研究院,沈阳,110043

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 301-303

在线出版日期: 2007-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）