硅压力传感器可靠性强化试验研究

摘要：

为实现硅压力传感器的快速评价和快速提高传感器可靠性的目标,综合分析了国际上先进的可靠性强化试验理论与技术,并应用失效物理学原理,对硅压力传感器可靠性强化试验技术剖面进行了研究性评述.

关键词： 硅压力传感器 失效分析 可靠性强化试验

作者: 吴虹 李延夫

作者单位: 沈阳仪表科学研究院,沈阳,110043

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 288-290

在线出版日期: 2007-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）