二维MEMS风速风向传感器的设计与测试

摘要：

给出一种基于MEMS工艺的二维风速风向传感器的设计、制造以及测试结果。该传感器加热电阻采用圆形结构,四个测温电阻对称分布在芯片四周.传感器芯片在玻璃衬底上采用两步MEMS剥离工艺加工,加工工艺简单可靠.该传感器采用恒功率工作方式,利用热温差原理测量风速和风向.经过风洞测试,传感器可以完成360°风向检测,误差不超过10°.

关键词： 二维风速传感器 风向传感器 剥离工艺 热温差原理

作者: 沈广平 吴剑 张骅 秦明 黄庆安

作者单位: 东南大学,MEMS教育部重点实验室,南京,210096

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 285-287

在线出版日期: 2007-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）