一种硅梁谐振加速度计结构设计与模拟分析
为了提高谐振加速度计的灵敏度以及稳定性,提出一种基于微杠杆力学放大机构的硅梁谐振式加速度计结构,并对其进行了有限元模拟分析.该加速度计由两个静电激励电容检测的硅谐振梁组成差分输出,采用硅深刻蚀以及硅玻璃阳极键合等体硅工艺制作.模拟结果表明新结构提高了加速度计灵敏度,有效改善了交叉灵敏度、线性度、温度稳定性等.
谐振加速度计 结构设计 微杠杠结构 差分输出
陈德勇 陈健 毋正伟 王军波 陈李
中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100080
国内会议
北京
中文
282-284
2007-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）