梳状谐振式磁场传感器设计

摘要：

给出了一种新型梳状微机械谐振式磁场传感器的设计.采用静电激励和静电检测,通过罗伦兹力的反馈将磁场的大小转变为频率输出.对结构模型进行简化,推导出了本征频率的计算公式并进行了ANSYS模拟.通过尺寸的设计,该传感器的灵敏度可以达到258 kHz/T.

关键词： 磁场传感器 谐振式 罗伦兹力 频率输出

作者: 李成章 黄庆安

作者单位: 东南大学,MEMS教育部重点实验室,南京,210096

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 279-281

在线出版日期: 2007-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）