一种小型电容敏感式加速度计的研制

摘要：

利用弹性良好的铍青铜为材料制作加速度计中的敏感振动元件,研制出电容敏感式加速度计.设计了一种提取差动电容信号的检测电路.给出了电路中所使用的电子元器件,经分析求解得出了电路的输出电压和传感器信号拾取电容变化量之间的正比例关系.经过实验测试,加速度计的灵敏度大约为391.12 mV/(m·s-2).

关键词： 加速度计 电容敏感式 铍青铜 信号处理电路

作者: 王宏伟 江世宇 腾功清 齐臣杰

作者单位: 北京信息科技大学,理学院,北京,100085

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 275-278

在线出版日期: 2007-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）