旋转式硅微机械陀螺的研究
分析了旋转式硅微机械陀螺的工作原理,建立了该陀螺的数学模型,设计了其敏感结构,计算了陀螺振动元件三个轴向的转动惯量、弹性支撑梁扭转刚度、振动元件角振动阻尼系数等动力学参数,计算分析了陀螺的电容敏感特性.对制作的陀螺进行性能测试的结果表明,该陀螺利用旋转载体自身的旋转角速度作为驱动,从而说明敏感载体的俯仰(或横滚)角速度原理正确,并且理论和试验都说明,当载体自旋角速度不同时,陀螺输出信号的比例系数也不同.
压差传感器 硅微机械振动陀螺 性能测试 旋转体控制
王宏伟 腾功清 齐臣杰 江世宇
北京信息科技大学,理学院,北京,100085
国内会议
北京
中文
270-274,303
2007-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）