双通道声表面波转速传感器

摘要：

以声表面波中的陀螺效应为理论基础,通过数值计算获得了LiNbO3基底上声表面波波速随基底转动速率的变化,以此为依据设计了一种双通道声表面波转速敏感结构,制作出双通道声表面波转速传感器.通过实验,该传感器的分辨率为12 Hz/r·s-1.

关键词： 声表面波 陀螺效应 角速力传感器

作者: 严庆文 魏益群 李业隆 沈美娥 朱嘉林

作者单位: 北京信息工程学院,北京,100101 北京工商大学,北京,100037

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 260-262

在线出版日期: 2007-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）