一种新型谐振式微加速度计设计和分析

摘要：

为提高谐振式加速度计的灵敏度,设计了基于两级微杠杆机构和DETF谐振器的新型谐振式微加速度计结构;用解析法分析了加速度计灵敏度和结构各参数之间的关系,并以此对结构参数进行了优化设计.理论计算表明,所设计的加速度计灵敏度约为56 Hz/g;由有限元仿真分析也得出了相似的结论.

关键词： 微机电系统 微加速度计 微杠杆 DETF谐振器

作者: 何高法 唐一科 何晓平 刘世明

作者单位: 重庆大学,机械工程学院,重庆,400030;重庆科技学院,机械系,重庆,400050 中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900 重庆科技学院,机械系,重庆,400050

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 252-254,297

在线出版日期: 2007-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）