MEMS固态风速风向传感器的设计与制作

摘要：

风速风向参数的测量在气象测量中占有重要的地位.基于MEMS技术的固态风速风向传感器具有体积小、重量轻、成本低的优点.设计了两种基于MEMS工艺的固态测风传感器,即硅薄膜式测风传感器和硅悬梁式测风传感器,用流体力学原理对这两种风速风向传感器进行了理论分析及ANSYS CFD软件模拟仿真,得出了风速与挠度、剪切力的关系.用惠斯通电桥测量传感器输出信号,通过单个传感器的二次封装测量风向信号.制作出了硅悬梁式测风传感器,并进行了初步测试.

关键词： MEMS技术 风速风向参数 硅薄膜式测风传感器 硅悬梁式测风传感器 气象测量

作者: 杜利东 赵湛 庞程

作者单位: 中国科学院,电子学研究所,传感技术联合国家重点实验室,北京,100080;中国科学院,研究生院,北京,100039 中国科学院,电子学研究所,传感技术联合国家重点实验室,北京,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 245-248

在线出版日期: 2007-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）