一种新型挠性轴内置式扭摆微加速度计的设计
针对扭摆式加速度计的结构特点,为了有效利用硅片面积和提高质量块质量,设计了一种新型挠性轴内置于质量块的扭摆式加速度计,该结构具有检测电极和力反馈电极.根据结构设计参数,推导出中心敏感电容、等效质量、机械灵敏度的参数表达式.利用扭摆加速度计的数学模型,建立了加速度计表头系统级模型,并结合接口电路进行闭环整体仿真,调整校正环节参数,得到闭环系统性能指标.最后进行初步开环测试,测得加速度计的灵敏度为33 mV/g,非线性度2.29％.
硅微加速度计 挠性轴内置 闭环仿真 开环测试
崔金强 姜澄宇 苑伟政 常洪龙 蒋庆华
西北工业大学,陕西省微/纳米系统重点实验室,西安,710072
国内会议
北京
中文
231-234
2007-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）