热稳定自旋阀磁传感器及其性能优化研究

摘要：

对一种Ta/NiFeCr/CoFe/Cu/CoFe/MnIr/Ta结构的顶钉扎自旋阀进行了优化.对自旋阀各层材料在整个结构中所起的作用进行了分析,并通过实验,研究自旋阀中每一层的厚度对磁电阻变化率(MR)的影响.最终得到了在80℃下磁电阻变化率高达10.5％的GMR自旋阀.

关键词： 巨磁电阻 自旋阀 磁性传感器 性能优化

作者: 郑洋 曲炳郡 叶双莉 李伟 任天令 刘理天

作者单位: 清华大学,微电子所,北京,100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 228-230

在线出版日期: 2007-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）