非晶硅薄膜晶体管室温红外探测器的优化设计

摘要：

介绍了基于非晶硅薄膜晶体管的室温红外探测器的基本特征及性能指标,对晶体管宽长比对探测器性能的影响进行了理论分析,分析表明,提高晶体管的宽长比可以改善探测器的探测率.为了克服传统微桥结构室温红外探测器成品率低的不足,提出了一种新的热绝缘材料,并将该材料应用到了非制冷红外探测器中,实际制备了探测器单元,对该材料的热绝缘能力进行了验证.

关键词： 非晶硅薄膜晶体管 优化设计 非制冷红外探测器 电流温度系数 插指结构

作者: 刘兴明 方华军 刘理天

作者单位: 清华大学,微电子学研究所,北京,100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 219-221

在线出版日期: 2007-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）