硅基压电悬臂梁式微麦克风的设计与优化
设计了一种硅基PZT压电悬臂梁式微麦克风.这种微麦克风采用压电多层膜悬臂梁作为声压感受器件,采用有限元耦合场分析的方法对压电复合膜悬臂梁进行了有限元分析和模拟,研究了压电复合多层膜悬臂梁的结构参数与力学性能的关系,分析了影响微麦克风机电性能的多种因素,给出了优化的器件结构和工艺流程.
声压感受器件 微麦克风 优化设计 压电悬臂梁
方华军 刘理天 任天令
清华大学,微电子学研究所,北京,100084
国内会议
北京
中文
210-212
2007-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）