一种新型金属封装的光纤法珀温度传感器

摘要：

设计制作了一种金属封装的光纤法珀温度传感器,该传感器采用不锈钢毛细金属管代替传统的空心光纤对光纤法珀腔进行封装,毛细金属管在作为法珀腔腔体的同时也是温度敏感元件.采用该结构简化了光纤法珀温度传感器的封装工艺,理论分析和实验的结果表明,该金属封装结构使得传感器的灵敏度易于控制,对于腔长为10 mm的温度传感器其精度达到±0.5℃。

关键词： 金属封装 光纤 法珀 温度传感器

作者: 张文涛 戴静云 孙宝臣

作者单位: 河北省大型结构健康诊断与控制重点实验室,石家庄,050043;中国科学院,半导体研究所,集成光电子学国家重点实验室,北京,100083 河北省大型结构健康诊断与控制重点实验室,石家庄,050043

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 207-209

在线出版日期: 2007-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）