基于MEMS技术的微型气相色谱柱的研制

摘要：

描述了一种采用MEMS技术加工的微型气相色谱柱,这种色谱柱采用深刻蚀技术加工出色谱通道,再与Pyrex 7740玻璃进行键合密封.色谱柱全长6 m,色谱通道截面为矩形(宽100 μm,深100 μm),针对苯和甲苯的混合气进行了分离试验,理论塔板数达到了4800,分离时间为185 s.

关键词： 微型色谱柱 气相色谱 微机电系统 刻蚀技术

作者: 李玉台 崔大付 刘长春

作者单位: 中国科学院,电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 407-409,416

在线出版日期: 2007-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）