Ag/La0.67Sr0.33MnO3薄膜电阻开关特性的研究

摘要：

采用脉冲激光沉积技术在SrTiO3(001)单晶衬底上制备出钙钛矿结构La0.67Sr0.33MnO3薄膜,利用X射线衍射仪与原子力显微镜表征其晶体结构与微观形貌,并对Ag/Lao.67Sr0.33MnO3/SrTiO3结构的室温电脉冲诱发可逆变阻效应进行了分析讨论.该效应表现出良好的非挥发多值存储特性,有望应用于新型存储器、传感器、可变电阻等电子元器件的研制.

关键词： 钙钛矿结构氧化物 脉冲激光沉积 电脉冲诱发电阻转变 薄膜材料

作者: 黄丽娜 曲炳郡 刘理天

作者单位: 清华大学,微电子学研究所,北京,100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 80-82

在线出版日期: 2007-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）