硅微机械谐振式压力传感器组合敏感原理

摘要：

为解决硅微机械谐振式压力传感器的微弱信号检测问题,并改善其可靠性和动态响应,提出在传感器原有结构上增加辅助传感器,构成组合敏感原理.利用根据辅助传感器测量结果推算出的谐振频率近似值,可控制带通滤波器的中心频率以改善噪声抑制;可及时判断闭环系统失效;可在闭环系统失效状态下继续部分维持传感器的测量功能.辅助传感器的制造工艺与主传感器兼容,附加成本低.

关键词： 谐振式传感器 微机电系统 闭环系统 组合敏感原理

作者: 邢维巍 樊尚春

作者单位: 北京航空航天大学,仪器科学与光电工程学院,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 20-21,24

在线出版日期: 2007-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）