调焦光路中超精密双等位环平板电容位移传感器研究

摘要：

在应用共焦显微镜原理实现对超精加工表面的几何量测量中,设计了一种环状的电容位移传感器,对物镜的调焦位移进行测量,使测量光轴从极板的中心孔穿过,测量位移方向与光路的光轴重合,与阿贝原理相符;采用微机电系统(MEMS)工艺加工双等位环电容极板,电容器极板很薄,间隙小于2μm,减小边缘效应附加电容,从而极大地提高了测量的线性和测量精度.设计了处理电路,对该传感器进行了标定,在0～30μm内,其线性度为0.05％,分辨力优于0.01μm.

关键词： 电容位移传感器 双等位环 微机电系统 调焦位移测量 几何量测量

作者: 张建寰 高学敏 杨晓东

作者单位: 厦门大学机电工程系,福建,厦门,361005 厦门大学医学院,福建,厦门,361005

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国计量测试学会几何量专业委员会2006年年会

会议地点: 武夷山

会议语种:中文

页码: 203-206

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）