高精度位移传感器测量

摘要：

利用高精度的F-P激光干涉仪,研制了一套用于高精度位移传感器的校准装置,可以校准示值误差为十几个纳米到几十个纳米的高精度位移传感器.测量原理是利用F-P激光干涉仪的灵敏度高、测量精度高等特点,将干涉仪和被测传感器同时测量放置在精密位移工作台上,通过比较激光干涉仪移动镜的位移量和被测传感器的位移量间的差异,得出被测传感器的线性,整个测量过程完全由计算机控制.该系统测量范围为0～25mm,测量不确定度为6nm+l/2nm(k=1).

关键词： 位移传感器 激光干涉仪 高精度测量 校准装置

作者: 裴丽梅 许婕 苏永昌 郑庆国 王自军

作者单位: 中国计量科学研究院,北京,100013

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国计量测试学会几何量专业委员会2006年年会

会议地点: 武夷山

会议语种:中文

页码: 200-202

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）