金属镀层膜厚量值溯源方法的研究

摘要：

对金属镀层膜厚的不同测量方法进行了比较分析,提出通过设计台阶镀层和测量台阶高度的方法,实现镀层量值的直接溯源,并与X荧光分析测量法进行大量的比对测量试验,验证台阶镀层测量方法的正确性.

关键词： 金属镀层膜 厚度测量 厚量值 X荧光 台阶高度 溯源方法

作者: 朱小平 王蔚晨 杜华 叶孝佑

作者单位: 中国计量科学研究院,北京,100013

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国计量测试学会几何量专业委员会2006年年会

会议地点: 武夷山

会议语种:中文

页码: 186-188

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）