具有高空间分辨力的位相型光瞳滤波式差动共焦测量法

摘要：

提出一种新的改善光触针类测量传感器空间分辨力的位相型差动共焦测量方法.该方法通过具有横向超分辨能力的位相型光瞳滤波器最大程度地改善共焦测量系统的横向分辨力,通过差动共焦测量法改善共焦测量系统的轴向分辨力,最终提高共焦测量系统空间分辨能力.理论分析和实验表明,当入射激光束波长λ=632.8 nm、测量物镜数值孔径NA=0.85、uM=4时,该方法的横向分辨力优于0.2μm,轴向分辨力优于2 nm.该方法可用于表面微观轮廓及微小尺度的超精密测量。

关键词： 传感器 共焦测量 光瞳滤波器 位相型光瞳

作者: 邱丽荣 赵维谦 沙定国

作者单位: 北京理工大学信息科学技术学院,北京,100081 哈尔滨工业大学自动化测试与控制工程系,黑龙江,哈尔滨,150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国计量测试学会几何量专业委员会2006年年会

会议地点: 武夷山

会议语种:中文

页码: 118-122

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）