会议专题

基于VB的纳米级驱动控制系统研究

压电陶瓷拨爪电机具有大行程、高速、位移分辨率高等突出优点,可以避免使用传统的二级驱动,直接实现纳米级驱动定位.利用PCI-7484数据采集卡和FAGOR自反馈光栅数显卡提供的DLL动态连接库函数及VB中的Timer控件,实现了对压电陶瓷拨爪电机的实时可编程控制以及位移信号的获取,成功地构建了纳米级驱动控制系统.经测试,该系统的位移分辨率可达10nm.

压电陶瓷拨爪电机 可编程控制 纳米级驱动控制系统 位移信号

范伟 余晓芬 奚琳

合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽,合肥,230009

国内会议

中国计量测试学会几何量专业委员会2006年年会

武夷山

中文

96-99

2006-11-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)