一种新型大尺寸长度校准装置的研制
介绍了一种新型的大尺寸长度校准装置,该装置解决了激光干涉仪等高精度大尺寸长度测量仪器的实验室校准与溯源问题.通过采用三路相干光进行测长,根据两辅助光路与主光路的测长偏差计算阿贝角,实现了阿贝误差的实时补偿.利用标准双频激光干涉仪测试了阿贝误差的补偿精度,35 m测量范围内的比对误差小于±3μm.测量精度达到了单光路同轴测量的水平.
大尺寸测量 激光干涉仪 校准装置 阿贝误差补偿
王继虎 马骊群 何小妹 曹铁泽 熊昌友
北京长城计量测试技术研究所,北京,100095
国内会议
武夷山
中文
92-95
2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）