高精度活塞直径测量的新进展

摘要：

在总结了1999年及2003年两次活塞压力计基准国际比对活塞面积溯源测量经验的基础上,提出了一种实现活塞直径非接触测量的新方法.它是以一等量块作为标准,采用白光迈克耳逊干涉进行表面定位,激光干涉与移相干涉相结合实现活塞直径测量的方法,该方法的特点在于将显微移相干涉应用于尺寸测量,测量不确定度可达到10-6量级.该方法可以解决中国计量科学研究院建立并维护的覆盖250MPa以下压力量值所对应的活塞压力计基准的面积溯源问题,并为诸如航天航空、汽车制造、超精加工等对陀螺、高速旋转轴系等圆柱件尺寸、形状的测量提出高精度需求的行业提供了一种新的测量方法.

关键词： 活塞压力计 活塞直径测量 迈克耳逊干涉仪 干涉条纹 移相干涉测量法

作者: 王蔚晨 朱小平 崔京远 杨自本 沙定国

作者单位: 北京理工大学信息科学技术学院光电工程系光学测量实验室,北京,100081;中国计量科学研究院长度所精密测量实验室,北京,100013 中国计量科学研究院长度所精密测量实验室,北京,100013 北京理工大学信息科学技术学院光电工程系光学测量实验室,北京,100081

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国计量测试学会几何量专业委员会2006年年会

会议地点: 武夷山

会议语种:中文

页码: 77-79

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）