”共光路”校准激光干涉仪的测长不确定度
激光干涉仪校准时为了避免引入阿贝误差,通常采用”背对背”测量方法,即标准干涉仪的反射镜与被测干涉仪的反射镜背对背放置,使标准干涉仪与被测干涉仪的光路处于同一直线上.现提出校准激光干涉仪的另一方法,利用同一组分光镜和反射镜,使标准干涉仪与被测干涉仪的光路处于同一光路上,即”共光路”测量方法.这种方法与”背对背”的测量方法相比,具有抗环境干扰的能力强的优点,使由环境条件引入的测量误差最小,其最佳相对测量不确定度优于1×10-7.通过测量数据和标准测量装置的不确定度分析,来评价”共光路”测量方法的优越性.
激光干涉仪 背对背测量 测长不确定度
李建双 赵岩 陶香琴 朱固瑞
中国计量科学研究院,北京,100013
国内会议
武夷山
中文
58-61
2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）