单频纳米激光干涉仪非线性误差及其修正方法

摘要：

介绍了单频纳米激光干涉仪的非线性误差,分析了各种典型的单频激光干涉仪非线性误差修正方法,如Heydemann方法、频谱分析方法、基于干涉信号波峰和波谷的方法、基于神经网络的NN方法.在基于干涉信号波峰和波谷的方法的基础上,提出了一种改良方法(P方法),试验结果表明,P方法具有运算简单、误差修正精度高和抗干扰性能较强等优点,可以在非计量环境下用该法对干涉仪的非线性误差进行修正,实用价值较大。

关键词： 单频激光干涉仪 非线性误差 误差修正 纳米测量

作者: 高宏堂 高思田 邵宏伟

作者单位: 中国计量科学研究院,北京,100013

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国计量测试学会几何量专业委员会2006年年会

会议地点: 武夷山

会议语种:中文

页码: 26-30

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）