碲锌镉缓冲层液相外延技术的研究

摘要：

本研究采用液相外延方法,在碲锌镉衬底上进行碲锌镉薄膜缓冲层生长的情况,并且采用X光双晶衍射仪、X光形貌仪、红外傅里叶光谱仪、二次离子质谱仪等手段对碲锌镉薄膜进行了表征,碲锌镉薄膜具有较好地组分及均匀性,晶体结构质量也较好。采用碲锌镉缓冲结构生长了碲镉汞液相外延片,其碲锌镉与碲镉汞薄膜界面附近的杂质得到了有效的控制。

关键词： 红外材料 碲锌镉薄膜 薄膜生长 液相外延 晶体结构

作者: 周立庆 刘兴新 巩锋 胡尚正

作者单位: 华北光电技术研究所,北京,100015

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届全国先进焦平面技术研讨会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 907-909

在线出版日期: 2007-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）