三维微机电系统结构静电性质的计算
介绍对任意厚度极板同样准确并对需要计算的静电性质的任意结构适用的边界元方法解算器,包括那些适于微机电系统的算法.解算器准确度的原因是使用闭形解析表达式的事实,这些表达式在整个物理范畴对计算感应系数是非常有效的.这样,有可能使边界元方法最严格的近似失效,也就是电荷分布在边界单元上的效应可以用定位在单位元的质心的电荷近似.这里,专心于结构的电荷密度和电容,二者对有效的微机电系统的设计都非常重要。
静电性质 微机电系统 边界元方法 电荷密度
汤叔楩
河北科技大学,理学院,河北,石家庄,050018
国内会议
苏州
中文
29-31
2007-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）