微机械轮式陀螺仪的结构分析

摘要：

以轮式陀螺仪为研究对象,利用有限元方法分析了主要结构尺寸对其固有频率的影响.根据驱动模态和敏感模态的频率匹配,优化了陀螺的结构尺寸;通过谐响应分析确定了频率和振幅的关系,为结构设计和制备工艺提供了理论指导.

关键词： 微机电系统 硅微机械陀螺 有限元方法 模态分析 谐响应分析

作者: 郭宏宾 赵玉龙 蒋庄德

作者单位: 西安交通大学,精密工程研究所,西安,710049 西安交通大学,机械制造系统工程国家重点实验室,西安,710049

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 150-152,164

在线出版日期: 2007-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）