利用计量型原子力显微镜进行两维纳米格栅的测量

摘要：

二维纳米格栅是纳米测量仪器的重要校准标准之一,也是国际计量局长度咨询委员会(BIPM/CCL)组织的五种纳米计量标准比对项目之一.计量院研制的计量型原子力显微镜在x,y,z三个方向固接有无阿贝误差布局的激光干涉仪,干涉仪的激光光源用碘稳频激光进行了校准,使得二维纳米格栅的测量结果可以直接溯源到米定义SI单位.使用高斯滤波器对测量数据进行了预处理,并研究了重心法二维格栅间距与夹角的计算方法.最后根据不确定度分析导则给出了格栅测量的不确定度评定分析.

关键词： 计量学 纳米计量 原子力显微镜 两维格栅 栅距 不确定度

作者: 高思田 杜华 卢明臻 崔建军

作者单位: 中国计量科学研究院,北京,100013 清华大学,北京,100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国计量测试学会几何量专业委员会2006年年会

会议地点: 武夷山

会议语种:中文

页码: 6-10

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）