三维表面轮廓的白光干涉垂直扫描测量方法的研究

摘要：

基于白光干涉垂直扫描轮廓测量原理,研制出一种以6JA干涉显微镜为基础,配合自带计量衍射光栅测量系统的精密垂直位移工作台,从而实现大范围、高精度三维表面轮廓测量的方法.实验结果表明,采用白光干涉垂直扫描轮廓测量方法,可满足测量解析度及精度达到纳米等级的同时,其垂直测量范围可达80μm的三维表面轮廓测量要求.

关键词： 三维表面轮廓 白光干涉垂直扫描测量 干涉显微镜 垂直测量

作者: 汪洁 常素萍 谢铁邦

作者单位: 华中科技大学机械科学与工程学院,湖北,武汉,430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国计量测试学会几何量专业委员会2006年年会

会议地点: 武夷山

会议语种:中文

页码: 160-163

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）