-100℃温区的高频脉冲管制冷机

摘要：

在已有高频脉冲管制冷机基础上，去掉了低温下一般都必用的维持高真空的真空罩，改进了脉冲管制冷机的设计以求在高温区维持较高的效率。实验表明改进后的脉冲管制冷机能达到-100℃的深冷温区，这为深冷温区微小冷量的用户开辟了一条新的思路。应用此制冷机为中科院微电子所电路芯片提供冷却，进行了初步的应用试验。

关键词： 高频脉冲管 制冷机 深冷温区 真空罩 电路芯片 冷却性能

作者: 荀玉强 杨鲁伟 刘晓燕 蔡京辉 梁惊涛

作者单位: 中国科学院理化技术研究所 北京 100080 中国科学院研究生院 北京 100039 中国科学院理化技术研究所 北京 100080 中国科学院微电子研究所 北京 100029

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国低温工程大会暨中国航天低温专业信息网2007年度学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 274-278

在线出版日期: 2007-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）