非制冷红外微测辐射热计有限元模型的构建
根据微加工条件能够制造的单层和双层结构的非制冷红外微测辐射热计的尺寸,进行了有限元建模与分析,寻找出在可接受的性能与成本之间折衷的设计方案,指出气体热导是影响探测单元热导的一个主要因素,并对其进行了理论分析,给出减小气体热导的方法及这些方法在双层及单层结构中应用的可行性.
微机电系统 微桥结构 微测辐射热计 红外成像
甄志成 胡明 杨海波 吕宇强
天津大学,电子信息工程学院,天津,300072
国内会议
北京
中文
45-47
2007-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）