热处理对Parylene C薄膜性能的影响

摘要：

采用X-射线结构衍射仪(XRD)、傅立叶红外光谱(FTIR)等技术，分析了经180℃热处理的Parylene C膜的结晶度、特征基团、力学性能、透湿率、雾度等随热处理时间变化的规律。结果表明，在0～2 h时间内，随着处理时间的增加，Parylene C膜结晶度，拉伸强度和雾度增大，透湿率及断裂伸长率减小；当处理时间大于2h，由于ParyleneC膜的热氧老化，使膜的拉伸强度和断裂伸长率减小，雾度和透湿率增大。

关键词： 热氧老化 结晶度 力学性能 透湿率 薄膜性能 拉伸强度

作者: 吉祥波 鲜晓斌 唐贤臣 帅茂兵 赵宗峰

作者单位: 中国工程物理研究院,四川绵阳919信箱71分箱,621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国核学会核材料分会2007年度学术交流会

会议地点: 四川江油

会议语种:中文

页码: 193-196

在线出版日期: 2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）