M型六角晶系磁性薄膜的研究现状与趋势

摘要：

综述了近期国内外M型六角晶系铁氧体薄膜的研究现状及进展，着重介绍了近十年国内外M型六角晶系铁氧体薄膜的成膜技术、成膜条件、物性分析以及研究结果等，并对国内外研究作了简单对比，同时，指出了M型六角铁氧体薄膜的发展方向。

关键词： M型六角晶系 铁氧体薄膜 成膜技术

作者: 聂小亮 兰中文

作者单位: 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室 四川成都 610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 四川省电子学会2007年学术年会

会议地点: 四川绵阳

会议语种:中文

页码: 551-554

在线出版日期: 2007-06-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）