MEMS扭转臂膜开关的加工

摘要：

为解决现有的MEMS微波开关的激励电压太高、微连接和膜开关的击穿电压等问题，提出了一种独特结构的MEMS微波开关——MEMS扭转臂膜开关，设计了可行的工艺流程并加工出试验样品。对这种独特结构原理的MEMS开关工艺研究为现有MEMS开关研究提供了一新颖的思路。

关键词： 微机电系统 微细加工 微波开关 激励电压

作者: 谢兴军 单红

作者单位: 中国工程物理研究院电子工程研究所,绵阳 621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 四川省电子学会2007年学术年会

会议地点: 四川绵阳

会议语种:中文

页码: 144-146

在线出版日期: 2007-06-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）